形状計測

切断せずに形状計測が可能に！

　　　≪使用機器≫3Dマイクロスコープ等

　　　レンズ部品のうねり計測
　　　・広範囲の領域からバリという極小部の高さを計測
　　　・バリの有無やバリ高さが許容差内に納まっているか確認

　　　コネクタピンの高さ計測
　　　・図面指示寸法通りに製作されているか確認

　　　台形ネジのネジ山角度計測
　　　・図面指示寸法通りに製作されているか確認

　　　・設計寸法通りの形状か測定可能
　　　・製品の微小なうねりの測定可能
　　　・健全品と不具合品の比較計測可能

計測手法

　　　プロファイル計測

　　　体積・面積計測

　　　・画像上で任意に指定したプロファイル線のグラフに対して，
　　　　試料の高さ，距離(長さ)，角度，R(円弧)などが計測可能。

　　　・画像上で任意に指定した領域において，対象物の体積や表面積，
　　　　高さ，XY径などが計測可能。
　　　・個数のカウントも同時に計測可能。

　　　線粗さ測定

　　　面粗さ測定

　　　・画像上で任意に指定したプロファイル線に対して線粗さを計測，任意に指定した領域の表面粗さを計測可能。
　　　・ISO25178に則った面粗さの計測可能。

　　　平均段差計測

　　　平面計測

　　　・画像上で設定した領域対して，最大高さ，最小高さが計測可能。

　　　・画像上に任意の計測ライン(直線，円，角度)を指定して，
　　　　2点間距離，直線間距離，円心間距離や角度が計測可能。

　　　比較計測

　　　　　・２つの測定データを重ね合わせ，グラフの差分(増減分の面積値や特定点の高低差)
　　　　　　などが計測可能。
　　　　　・健全品と不具合品の比較や腐食試験前後の比較が可能。

・測定可能範囲　　　　： 70mm×90mm
・観察倍率　　　　　　：低倍率モード ×12～×50
　　　　　　　　　　　　高倍率モード ×40～×160 （モニター倍率）
・測定可能高さ　　　　：低倍率モード 10mm，高倍率モード 1mm
・表示分解能　　　　　： 0.1μm
・繰り返し精度　　　　：高さ測定 0.5μm，幅測定 1μm(低倍率モード)
　　　　　　　　　　　　高さ測定 0.5μm，幅測定0.5μm (高倍率モード)
・最大積載試料寸法及び重量　：
　　　　　　　　　　　　幅70mm×長さ270mm×高さ50mm，3kg
　　　　　　　　　　　　上記寸法を超える場合は切断加工が必要となります。
・計測不可対象物　　　：鏡・金属光沢があるサンプル，透明なサンプル
　　　　　　　　　　　　ただし，ハレーション除去スプレー塗布または
　　　　　　　　　　　　レプリカ転写で計測可能
・XYZトレサビリティ対応（校正証明書付きキャリブレーションゲージで校正）

計測データはキーエンスカタログから抜粋

各種計測事例

　　●形状計測（ステンレスメッシュの形状確認）

　　●形状計測（シャフトの折損調査：R形状計測）

　　●腐食評価（大気暴露試験評価事例）